洁净室及相关受控环境的性能检测---张利群
2019-07-26 16:31:31
洁净室及相关受控环境的性能检测
目录
一、检测项目和检测仪器
二、各不同行业特殊洁净受控环境的检测项目
三、各检测项目的检测目的
四、检测报告
五、检测方法
（一）空气悬浮粒子计数浓度的检测
（二）断面风速和送风量的检测
（三）压差的检测
（四）温度的检测
（五）相对湿度的检测
（六）气流方向的检测
（七）自净时间的检测
（八）静电的检测
（九）噪声的检测
（十）照度的检测
（十一）浮游菌、沉降菌的检测
（十二）微振的检测
六、检测仪器仪表清单
七、NEBB对洁净室性能检测报告的主要内容（供参考）
一、检测项目和测试仪器
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序号 |
检测项目 |
测量仪器 |
备注 |
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1 |
空气悬浮粒子计数浓度的检测 |
光散射粒子计数器 |
0.3 µm ~5 µm粒子 |
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激光粒子计数器 |
0.1 µm粒子 |
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凝聚核计数器 |
< 0.1 µm粒子 |
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2 |
单向流断面风速的检测 |
热球风速仪 超声波风速仪 |
ISO 1级~5级 |
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非单向流送风口风量的检测 |
热球风速仪 超声波风速仪 风罩式风量计 |
ISO 6级~9级 |
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送风管风量的检测 |
热球风速仪 比托管和压差计 |
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3 |
压差的检测 |
电子微压计 补偿微压计 斜管微压计 |
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4 |
温度检测 |
玻璃温度计 电阻温度计 |
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5 |
相对湿度检测 |
湿度监测器（电容式、毛发式） 湿度计 |
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6 |
气流方向检测 |
气溶胶发生器、示踪剂 热球风速仪 超声波风速仪 |
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7 |
自净时间的检测 |
气溶胶发生器 光散射粒子计数器 |
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8 |
静电的检测 |
充电板监视器 电压计、高阻计 |
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9 |
噪声的检测 |
倍频声级计、声级计 |
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10 |
照度的检测 |
照度计 |
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11 |
浮游菌、沉降菌的检测 |
培养皿、培养基、采样器 |
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12 |
微振的检测 |
微振传感器 微振测试仪 |
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二、各不同行业的检测项目
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序号 |
行业
检测项目 |
电子 微电子 光电子 |
制药 食品 化妆品 |
医疗 洁净手术部 |
航天 航空 |
纳米 |
生物安全实验室 |
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1 |
空气悬浮粒子计数浓度监测 |
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2 |
单向流断面风速检测 |
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非单向流送风口风量检测 |
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